产品介绍
仪器用途:
LW300MT专为微电子行业量身定做,适用于硅、砷化镓、磷化铟等基片6″8″盘的生产工艺检查;可以方便的快移和的位移检查;也可以适用其它需较大面积标本的工艺检查。
性能特点
1、 配置大视野目镜和长距平场消色差物镜(无盖玻片),视场大而清晰。
2、配置大移动范围的载物台,能快速和慢速移动。
3、粗微动同轴调焦机构,粗动松紧可调,带锁紧和限位装置,微动格值:2μm。
4、6V 20W卤素灯,亮度可调。
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